EUVLチップ製造のしくみ

May 24 2001
シリコンマイクロプロセッサは、ストレージ容量の限界に近づいています。しかし、1つの技術がシリコンマイクロチップの寿命を延ばす可能性があります。これは極端紫外線リソグラフィーと呼ばれ、シリコンの有用性を数年長く保つ可能性があります。
このウェーハは、極端紫外線リソグラフィー(EUVL)を使用してプロトタイプデバイス上でパターン化されました。コンピュータハードウェアの写真をもっと見る。

シリコンは、ほぼ半世紀の間、世界の技術ブームの中心でしたが、マイクロプロセッサメーカーは、シリコンから生命を奪いました。マイクロプロセッサの製造に使用されている現在の技術は、2005年頃に限界に達し始めます。その時点で、チップメーカーは、より強力なチップを作成するために、より多くのトランジスタをシリコンに詰め込むために他の技術に目を向ける必要があります。多くの人が、少なくとも10年の終わりまでシリコンの寿命を延ばす方法として、すでに極端紫外線リソグラフィー(EUVL)を検討しています。

ますます多くのトランジスタをチップに詰め込むために使用されている現在のプロセスは、深紫外線リソグラフィと呼ばれます。これは、レンズを通してを集束させてシリコンウェーハに回路パターンを刻む写真のような技術です。製造業者は、物理法則が介入するため、この手法がすぐに問題になる可能性があることを懸念しています。

極端紫外線(EUV)光を使用してシリコンウェーハにトランジスタを刻むと、今日の最も強力なチップよりも最大100倍高速なマイクロプロセッサと、同様にストレージ容量が増加したメモリチップが実現します。この記事では、チップの製造に使用されている現在のリソグラフィ技術と、2007年頃からEUVLがさらに多くのトランジスタをチップに押し込む方法について学習します。